當廢氣治理設備安裝調試完畢並能正常運行時，將進入運行維護階段。設備運行維護質量直接影響廢氣治理設備的效率和壽命，因此整個廢氣治理系統正常運行的重要環節之一是維護處理設備。
為什麼需要定期維護和清洗廢氣治理設備？處理設備管道內的溫度會降低，濕度會過高，水蒸氣會凝結，灰塵容易粘附在廢氣處理設備使用後，如果不定期清洗，會影響設備的正常運行和老化，同時也會帶來管道內部的粉塵爆炸。廢氣處理設備管道段的風速因漏氣或單個部件的阻力增加而降低，因此為了保持風速快速顺利获得，需要定期清潔廢氣處理設備的內部。抽油煙機吸入的空氣中粉塵濃度過高，需要定期清洗廢氣處理設備。容易造成粉塵爆炸如果頭罩吸入的粉塵過高，然後就容易間接造成廢氣處理設備爆炸，這樣工作人員的安全就會受到威脅，所以定期清理廢氣處理設備內部的空氣粉塵是必要的。廢氣處理設備系統水平管段過長，或彎頭曲率半徑過小。如果不定期清洗，會影響廢氣處理的效果。由於管道的曲率太小，會導致管道堵塞，不容易處理廢氣，所以更容易造成廢氣的積累，同時也會腐蝕和損壞廢氣處理設備內部的管道，導致廢氣的泄漏，相當於沒有使用廢氣處理設備。即損害公司經濟利益，破壞環境，導致環保部門大量罰款。
廢氣治理設備操作維護注意事項：嚴格按照廢氣治理設備操作規程操作運行，嚴禁空載或帶負荷運行設備。淨化裝置試運行調試後，將對調節閥進行固定或標記，不會隨意更換。連接多個吸氣點的淨化系統，當一個吸氣點的工藝設備停止運行時，集氣罩就不應關掉，以免改變其他集氣罩的吸氣量，從而影響淨化效率。实行例行檢查在每次啟動設備前，然後及時清理雜物，防止有害物質進入設備損壞。一般情況下，除塵淨化裝置應在工藝設備啟動前啟動，工藝設備停止運行幾分鐘後關閉。定期清除設備管道和內部積聚的灰塵，防止灰塵和其他物質沉積在設備和管道中。加強設備的日常維護，定期維修設備，及時更換易損件。日常維護的主要任務是消除設備、管道和排風罩；清理孔和觀察孔的漏風，調整系統的供液、風量和氣壓，排除一切潛在故障。
